Te dejo el Link donde informé algo parecido con el Automático.Lo lleve al taller y me dijeron que esa pequeña vibración era normal en la marcha tras por el par mayor....la verdad que lo hace siempre y no ha ido a más... https://www.clubmazdacx5.com/threads/vibraciones-cambio-automatico-marcha-atras.1675/
A mi desde hace unos días, con 10.000 km, me hace exactamente lo mismo que a ti, al arrancar y desembragar si no ajusto el acelerador me vibra hasta que salgo y entonces deja de hacerlo, tanto con la marcha atrás como con la primera. Mañana iré a pasar por el concesionario Mazda a revisión del dichoso sensor de escape y de paso le comentare lo de las vibraciones. Ya iré informando.